1993年的上海,空气中弥漫着一股躁动而又充满希望的气息。
浦东开发开放的号角已经吹响,黄浦江两岸,到处都是热火朝天的工地。
但李晓宇和林涛此行的目的地,却不是繁华的外滩,也不是正在崛起的陆家嘴,而是位于城市西南角,稍显冷清的漕河泾新兴技术开发区。
在一栋外表斑驳,挂着“上海光学仪器厂微电子装备分厂”牌子的老式红砖楼里,他们见到了此行的目标——贺云飞。
这位在后世被誉为“中国光刻机之父”的传奇人物,此刻,正坐在一堆散乱的图纸和已经凉透的盒饭中间,愁眉紧锁。
他的头发花白而凌乱,厚厚的眼镜片后,是一双布满了血丝,却依然透着倔强的眼睛。
“李总工?金陵中心?”贺云飞抬起头,看着眼前这个年轻得有些过分的访客,眼中并没有太多热情,反而带着一丝警惕和疲惫,“你们是来买设备的?如果是想买那些被淘汰的接触式光刻机,那你找错人了,我们厂快倒闭了,设备都封存了。”
他的声音里,透着一股深深的无奈。
在那个“造不如买,买不如租”思想盛行的年代,国产半导体装备行业,正经历着最寒冷的冬天。经费被砍,项目下马,人才流失。贺云飞和他的团队,就像一群在冰天雪地里坚守阵地的孤军,弹尽粮绝,却依然不愿放弃心中的那个梦。
李晓宇没有因为对方的冷淡而退缩。他拉过一把椅子,坐在了贺云飞的对面。
“贺工,我不是来买旧设备的。”
李晓宇的声音平静而诚恳。
“我是来,请您出山的。”
他从公文包里,取出了一份文件,那是“精卫”项目刚刚取得的,关于深紫外激光直写光刻机的详细技术报告。还有一封,张承平院士的亲笔信。
“这是我们‘金陵中心’和长光所,最近刚刚搞出来的东西。我想请您,帮我们把把关。”
贺云飞将信将疑地接过文件。起初,他只是漫不经心地翻看着。但随着阅读的深入,他的表情开始变化。
从疑惑,到惊讶,再到震惊!
当他看到“0.1微米光栅刻划精度”和“全固态深紫外激光源”这几个关键指标时,他的手,开始微微颤抖。
他猛地抬起头,死死地盯着李晓宇,仿佛要重新认识这个年轻人。
“这……这是你们自己搞出来的?不是进口的?”
“百分之百国产,拥有完全自主知识产权。”李晓宇斩钉截铁地回答。
“好!好啊!”贺云飞激动地拍了一下桌子,那双原本黯淡的眼睛里,重新燃起了光芒,“没想到,在我也快要绝望的时候,竟然还有人,在这么高精尖的领域,默默地耕耘出了成果!张院士信里说得对,你们,确实是干实事的!”
但随即,他又冷静了下来,叹了口气。
“但是,李总工。光栅刻划,和芯片光刻,虽然原理相通,但难度,却有着天壤之别。”
他站起身,走到墙边,指着一张泛黄的光刻机结构图,语气沉重。
“芯片光刻机,最核心,也最难的,不是光源,也不是运动台。而是这个——投影物镜系统!”
“它由几十片,形状各异,精度要求达到纳米级的透镜组成。为了消除色差和畸变,我们需要用最高纯度的熔石英玻璃。而为了加工这些镜片,我们需要比你们‘精卫’还要精密十倍的超精密磨床!”
“国内没有合格的光学玻璃,也没有能加工这种镜片的设备。这就是我们的‘心脏病’,也是我们始终无法突破的死结。”
看着贺云飞那痛苦的表情,李晓宇却笑了。
“贺工,如果我说,我有药,能治这个‘心脏病’呢?”
“什么?!”贺云飞瞪大了眼睛。
李晓宇站起身,走到了那张结构图前。
“关于熔石英玻璃,我们‘补天联盟’里,有中科院硅酸盐研究所的顶级专家。我已经和他们沟通过了,只要有资金,有方向,他们有信心,在一年内,攻克高纯度熔石英的提纯和熔炼工艺!”
“至于镜片加工……”
李晓宇的眼中,闪过一丝傲然。
“您可能还不知道。我们的‘盘龙母机’,连潜艇的静音螺旋桨和航发的整体叶盘都能切出来。区区几块玻璃镜片,在我们的ELId超精密磨削技术面前,根本不算什么难题!”
“我们,完全有能力,用我们自己的‘矛’,去为您,打磨出这套,世界上最精密的‘透镜’!”
李晓宇的话,如同一记记重锤,狠狠地砸碎了贺云飞心中那块坚冰。
全产业链的协同!超精密的加工母机!
这正是他梦寐以求,却始终求而不得的,最坚实的后盾!
“贺工,”李晓宇向他伸出了手,“‘金陵中心’已经启动了代号为‘神光’的国产光刻机研发计划。我们有钱,有人,有技术,更有国家的支持。现在,万事俱备,只缺一位,像您这样,懂光刻,以此为命的帅才!”
“我诚挚地邀请您,和您的团队,整体搬迁到江州。加入我们,加入‘工业长城’!”
“我们一起,去造出,真正属于我们中国人的,光刻机!”
贺云飞看着李晓宇伸出的手,看着他身后林涛那充满朝气的脸庞。
他转过头,看了看这间简陋的办公室,看了看窗外那阴沉的天空。
他知道,这是他此生,最后,也是最好的一次机会。
如果不抓住,他这辈子的光刻梦,就真的要断送在这个寒冬里了。
他深吸一口气,眼眶微红。
他伸出那双,因为常年操劳而略显粗糙的手,紧紧地,握住了李晓宇的手。
那只手,冰凉,但却充满了力量。
“好!”
“李总工,只要能造出光刻机,哪怕是去戈壁滩,去大沙漠,我贺云飞,也跟着你走!”
“这把老骨头,就卖给你们‘金陵中心’了!”
窗外,一道闪电划破长空,照亮了贺云飞那张,虽然沧桑,但却重新焕发出勃勃生机的脸。
星星之火,终于在黄浦江畔,完成了最后的传递。
即将,在长江边的江州,燃成燎原之势!