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ASmL的降价公告像一颗深水炸弹,在研发中心的庆功宴上掀起了惊涛骇浪。原本喧闹的食堂瞬间安静下来,众人手里的酒杯停在半空,脸上的笑容僵住了。负责市场调研的工程师匆匆走进来,手里的平板屏幕上赫然显示着ASmL官网的公告:“为支持全球半导体产业发展,ASmL 14nm光刻机售价即日起下调50%,同时为龙国区客户提供三年免费维护及技术培训服务。”

“这是明摆着的垄断打压!”陈涛将酒杯重重砸在桌上,酒液溅到了桌布上,“他们就是看到我们的14nm芯片测试成功,怕我们抢占市场,才出这种阴招。我们的芯片刚达到量产标准,成本还没降下来,他们一降价,我们根本没法竞争!”

赵磊拿着刚打印出来的成本核算表走过来,脸色凝重:“我们的14nm芯片单片生产成本大概是80美元,ASmL的光刻机降价后,台积电的14nm芯片生产成本能降到50美元以下。要是客户选择台积电,我们连成本都收不回来。”他顿了顿,补充道,“阿拉伯能源联邦主权基金的尽职调查也因为这个消息暂停了,他们担心投资风险,要求我们提供更具竞争力的技术方案。”

林渊没有说话,而是看向了一直沉默的苏晴。她正低头看着平板,手指在屏幕上反复滑动,似乎在查阅什么资料。感受到林渊的目光,苏晴抬起头,眼神里闪烁着兴奋的光芒:“ASmL的降价虽然狠,但也暴露了他们的短板。他们的14nm技术已经走到了瓶颈,只能通过降价来维持市场份额,而我们有机会直接跳过7nm,研发更先进的技术!”

众人都愣住了,范德霍夫教授推了推眼镜,好奇地问:“苏总,你有什么想法?要知道,从14nm到7nm,技术难度呈指数级增长,ASmL花了五年才实现突破,我们仅凭现有团队,很难在短时间内做到。”

“我们不需要走ASmL的老路。”苏晴快步走到食堂的白板前,拿起马克笔在上面画了一个芯片架构图,“ASmL的7nm技术是基于FinFEt架构的改进,通过增加栅极数量来提升性能,但这种架构的散热问题和漏电问题在7nm节点会更加突出。而我们可以结合量子点掺杂技术和碳纳米管技术,研发一种全新的‘量子碳管架构’,性能有望直接超越ASmL的7nm,甚至接近5nm。”

白板前瞬间围满了人,苏晴的笔尖在架构图上不断游走:“大家看,这是我们现有的量子点掺杂层,它能提升芯片的稳定性和导电性。如果我们将碳纳米管作为晶体管的沟道材料,取代传统的硅基材料,就能大幅提升电子迁移率,降低漏电率。而且碳纳米管的散热性能是硅的10倍以上,能完美解决高温稳定性问题。”

范德霍夫教授皱起了眉头,提出了质疑:“碳纳米管的定向排列是个世界性难题。我们之前做过实验,碳纳米管在晶圆上的排列方向混乱,导致晶体管的性能差异很大,良率根本无法保证。ASmL和台积电也做过相关研究,最终因为定向排列问题放弃了碳纳米管技术。”

“这个问题我已经有解决方案了。”苏晴调出手机里的实验视频,屏幕上显示着一片晶圆,在显微镜下,碳纳米管像被无形的手牵引着,整齐地排列在量子点掺杂层上,“我利用量子点的量子隧穿效应,在晶圆表面形成了微弱的电场,碳纳米管会沿着电场方向定向排列。这个实验我做了200多次,最近的一次良率已经达到了60%,只要优化电场参数,提升到80%以上完全有可能。”

实验室里响起了一阵惊叹声。张明凑近屏幕,仔细观察着碳纳米管的排列情况:“这个排列精度太高了!比我之前在文献上看到的最高水平还要高30%。苏总,你这个想法太天才了!要是能实现工业化量产,我们的芯片性能会比ASmL的7nm芯片提升50%以上!”

林渊的眼睛亮了起来,他立刻拍板:“就按这个方向攻关!苏晴,你担任技术总负责人,组建专项研发团队;范教授,你负责量子点电场参数的优化;陈涛,你带领团队改进设备,适配碳纳米管的沉积工艺;赵磊,你立刻重新做成本核算,同时联系阿拉伯能源联邦主权基金,把这个技术方案报给他们,争取尽快拿到投资。”

然而,研发刚启动就遇到了麻烦。负责碳纳米管提纯的团队发现,国内采购的碳纳米管纯度只有99.9%,里面的杂质会影响量子点电场的稳定性,导致定向排列精度下降。“我们需要99.999%的高纯度碳纳米管,”团队负责人拿着检测报告说,“目前只有米国的莱斯大学能生产这种纯度的碳纳米管,但受米国制裁影响,他们根本不会卖给我们。”

苏晴没有气馁,她想起了自己在麻省理工学院做博士后时的导师——马克·赫萨姆教授,他是碳纳米管提纯领域的权威专家。苏晴立刻给赫萨姆教授发了一封邮件,详细介绍了自己的技术方案和遇到的难题,希望能得到他的帮助。

邮件发出后,一直没有得到回复。就在苏晴以为希望渺茫时,三天后的深夜,她突然收到了一封加密邮件。打开邮件,里面是一份高纯度碳纳米管的提纯工艺图纸,落款是赫萨姆教授,还附带了一句留言:“技术无国界,我相信你们的研究能推动人类半导体产业的进步。注意保密,这份图纸不能让米国政府知道。”

苏晴立刻带领团队按照图纸进行实验。提纯过程需要用到一种特殊的溶剂——超临界二氧化碳,这种溶剂能在高温高压下溶解碳纳米管中的杂质,同时不会破坏碳纳米管的结构。但国内没有量产的超临界二氧化碳提纯设备,只能自己搭建。

搭建设备的过程异常艰难。负责机械加工的工程师发现,设备的核心部件——高压反应釜的内壁需要镀上一层金刚石薄膜,以承受超临界二氧化碳的高温高压。国内只有一家企业能生产这种薄膜,但他们的生产周期需要一个月,根本赶不上研发进度。

“我们自己镀!”苏晴想起了之前研发量子点涂层时用到的磁控溅射技术,“我们可以利用磁控溅射设备,在反应釜内壁沉积金刚石薄膜。虽然厚度均匀性可能不如专业设备,但足够满足实验要求。”团队立刻行动起来,将磁控溅射设备进行改造,经过三天三夜的连续试验,终于成功在高压反应釜内壁镀上了金刚石薄膜。

当第一批次高纯度碳纳米管生产出来时,检测报告显示纯度达到了99.999%,所有人都激动不已。然而,在进行定向排列实验时,新的问题又出现了:碳纳米管在量子点电场中虽然实现了定向排列,但排列密度不足,导致晶体管的电流驱动能力达不到设计要求。

“是量子点的分布不均匀导致的。”范德霍夫教授通过原子力显微镜观察后发现,量子点在晶圆表面的分布存在明显的聚集现象,导致电场强度分布不均,“我们需要优化量子点的沉积工艺,让量子点均匀分布在晶圆表面,形成均匀的电场。”

苏晴提出了一种新的沉积方案——采用脉冲激光沉积技术,通过控制激光的脉冲频率和能量,让量子点在晶圆表面均匀成核。团队立刻对沉积设备进行改造,将原来的电子束蒸发沉积改为脉冲激光沉积。经过多次参数优化,量子点的分布均匀性终于达到了要求,碳纳米管的排列密度也提升了40%。

就在研发取得初步进展时,阿拉伯能源联邦主权基金的尽职调查团队来到了研发中心。为首的投资总监穆罕默德看着实验数据,脸上露出了怀疑的神色:“苏总,你们的技术方案确实很有创新性,但目前还只是实验室阶段,离工业化量产还有很大的距离。ASmL的7nm技术已经成熟量产,你们怎么保证能在一年内实现量产?”

苏晴没有直接回答,而是带着他们来到了中试车间。车间里,一台经过改造的刻蚀设备正在进行碳纳米管晶体管的加工,屏幕上显示的良率数据已经达到了70%。“我们采用了现有的14nm生产线进行改造,只需要更换核心的沉积和刻蚀模块,就能实现量子碳管架构芯片的量产。”苏晴指着设备说,“按照目前的研发进度,三个月内可以完成中试,六个月内实现量产,良率能稳定在80%以上。”

穆罕默德看着正在运转的设备,又翻阅了详细的量产计划,终于点了点头:“我相信你们的技术实力和执行能力。但我们需要看到更具体的性能测试数据,要是你们的芯片性能能达到预期,我们愿意以1500亿的估值投资50亿,同时帮助你们开拓中东的汽车和能源市场。”

为了拿到投资,团队开始了紧张的性能测试准备。然而,在制备测试样品时,碳纳米管晶体管的栅极绝缘层出现了击穿现象,导致芯片短路。“是栅极绝缘层的厚度不均匀导致的。”苏晴通过透射电子显微镜观察后发现,绝缘层在碳纳米管的间隙处出现了变薄的现象,“我们需要采用原子层沉积技术,精确控制绝缘层的厚度,确保在碳纳米管表面形成均匀的绝缘层。”

原子层沉积设备的采购需要时间,而阿拉伯能源联邦主权基金要求一周内看到测试数据。林渊立刻联系了中科院微电子研究所,向他们借用原子层沉积设备。研究所的所长是王之江院士的学生,得知深蓝科技的研发困境后,立刻同意了借用请求,并派了三名技术人员前来协助。

在中科院团队的协助下,团队仅用三天就完成了栅极绝缘层的沉积。当第一颗量子碳管架构的测试芯片制备完成时,所有人都屏住了呼吸。测试仪器启动后,屏幕上的性能数据不断跳动,最终稳定下来:芯片的运算速度达到了3.5Ghz,比ASmL的7nm芯片提升了55%;漏电率仅为0.001A,是ASmL 7nm芯片的1\/10;在-50c到150c的极端环境下,性能波动不超过5%。

“太不可思议了!”穆罕默德看着测试报告,激动地握住了林渊的手,“这是我见过的最先进的芯片技术,比我们预期的还要好!我现在就向总部汇报,尽快敲定投资协议。”他顿了顿,补充道,“中东的阿拉伯能源联邦阿美石油公司和迪拜拉电力公司已经表示,要是你们的芯片量产,他们愿意签订长期采购合同,用于石油勘探设备和智能电网建设。”

投资的事情有了眉目,但研发的难题并没有完全解决。负责封装技术的团队发现,量子碳管芯片的热膨胀系数与传统的封装材料不匹配,在高温环境下会出现封装开裂的现象。“我们需要研发一种新的封装材料,热膨胀系数与碳纳米管匹配,同时具备良好的散热性能。”团队负责人说,“目前国内没有这种材料,只能自主研发。”

苏晴想起了之前在军工研究所看到的一种陶瓷基复合材料,热膨胀系数很低,散热性能优异。她立刻联系了西安交通大学的材料学院,与他们合作研发封装材料。经过两周的联合攻关,团队终于研发出了一种新型的碳化硅陶瓷基复合材料,完美解决了封装开裂的问题。

然而,新的麻烦又找上门来。米国商务部突然发布公告,将深蓝科技列入“实体清单升级名单”,禁止任何米国企业向深蓝科技提供任何技术和产品,包括之前已经签订合同的设备零部件。“我们的刻蚀设备有一个核心部件是米国应用材料公司生产的,现在他们停止供货,设备要是出现故障,根本无法维修。”设备维护团队的负责人焦急地说。

林渊立刻召集团队开会,商讨解决方案。“我们不能再依赖米国的零部件了,必须实现核心部件的国产化。”苏晴提出了建议,“我们可以联合国内的设备厂商,自主研发刻蚀设备的核心部件。之前我们已经研发了等离子体发生器和真空泵,剩下的部件难度不大,只要集中力量攻关,应该能在一个月内完成。”

林渊采纳了苏晴的建议,立刻与沈阳机床厂、中电科四十八所等国内设备厂商成立了联合研发小组,攻关刻蚀设备核心部件。在大基金的协调下,中科院的多家研究所也加入了研发团队,提供技术支持。经过一个月的日夜奋战,刻蚀设备的所有核心部件都实现了国产化,性能甚至超过了米国的同类产品。

就在这时,ASmL突然宣布,将在三个月后发布新一代5nm光刻机,售价1.2亿美元。行业分析师预测,ASmL的5nm技术将继续保持领先优势,深蓝科技的量子碳管技术可能刚量产就会被超越。“他们这是在给我们施压,想让我们放弃研发。”陈涛说,“但我们的量子碳管技术潜力很大,只要优化架构,性能还能提升30%以上,完全有能力与ASmL的5nm技术竞争。”

苏晴也表示认同:“ASmL的5nm技术依然基于硅基材料,而碳纳米管的性能极限远高于硅。我们可以在现有架构的基础上,增加量子点的掺杂浓度,提升碳纳米管的电子迁移率,让芯片性能再上一个台阶。我已经做过模拟计算,优化后的芯片运算速度能达到4.5Ghz,超越ASmL的5nm芯片。”

林渊看着团队充满斗志的脸庞,心里充满了信心。他知道,ASmL的技术领先只是暂时的,只要他们坚持自主创新,就一定能在半导体领域实现超越。“苏晴,立刻组织团队进行架构优化;陈涛,加快设备改造进度,确保两个月内完成量产准备;赵磊,协调供应链,储备足够的原材料,应对可能的供应链封锁。”林渊的声音坚定有力,“我们不仅要实现量子碳管芯片的量产,还要在ASmL发布5nm光刻机之前,召开新品发布会,让全世界看到龙国的半导体技术!”

团队立刻投入到紧张的研发和量产准备中。研发中心的灯光每天都亮到深夜,实验室里不断传来设备运行的嗡嗡声,每个人都在为了同一个目标而奋斗。苏晴带领团队优化芯片架构,将量子点的掺杂浓度提升了20%,芯片运算速度达到了4.2Ghz;陈涛的团队完成了刻蚀设备的改造,量产线的良率稳定在85%以上;赵磊建立了多元化的供应链体系,确保原材料的稳定供应。

当一切准备就绪,林渊站在研发中心的顶楼,看着楼下忙碌的生产线,心里感慨万千。从决定自研芯片到现在,他们经历了无数次的失败,承受了巨大的压力,甚至差点面临破产的危机。但他们从未放弃,因为他们知道,自己肩上承载的是龙国半导体产业的希望。林渊拿起手机,拨通了王之江院士的电话:“王院士,我们的量子碳管芯片已经准备就绪,下个月召开新品发布会,邀请您作为特邀嘉宾出席。”电话那头传来王院士激动的声音:“好!好!我一定参加,让全世界都知道,龙国也能造出最先进的芯片!”

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