所有人都默默点了点头。
“好,为了不影响原定进度,这段时间我们必须加班加点。有人有困难或疑问,现在可以提出来。”
姜蕴宁缓缓直起身,手背轻轻摩挲着下巴,深呼吸一口气,目光在每个人脸上停留片刻,确认他们明白她的意思。
然后,她轻轻拍了拍手,“既然大家都没有异议,从现在开始,按照分工,逐一检查各自负责的模块,发现问题立即汇报。”
虽然在场的工程师大多比姜蕴宁年长、资历也更深,但是她站在那里,沉稳的语气与严肃的面容,让人不自觉地忽略了她的年纪与外表,只把她当作真正的掌舵人。
孙卓越这时小心地举起手,犹豫片刻才开口:“姜工,我们按计划操作光刻机时,有些关键模块的拆装和测试可能需要额外时间,如果赶工,可能会有风险。”
孙卓越的顾虑并非多余。
光刻机内部模块极其复杂,包含光学镜组、激光光源、真空泵、曝光对准系统等,一旦在赶工时出现差错,不仅可能让当前排查前功尽弃,更可能引入新的风险。比如,工程师临时拆错一颗螺丝,可能会导致光学对准偏移,需要几天甚至几周重新校准。
姜蕴宁点点头,“我理解,你们注意安全和精度。时间紧,但不能牺牲质量,出现异常立即上报。另外,若是需要协助,请及时提出。”
几人相互对视,深吸一口气,随后默默点头。
他们低头在记录本上勾画,开始确认各自需要检查的模块。
“真空泵必须优先确认,断电时它的稳定性最容易出问题。”张新然低声提醒。
光刻机内的很多工艺都依赖在高真空或超洁净环境下进行。一旦真空环境出现波动,连锁反应会比其他模块更迅速、更致命——哪怕是极少量的颗粒或空气分子闯入,也足以破坏光路稳定性,污染晶圆表面,直接导致产品报废。
因此,真空泵的任何异常波动,都是光刻机最为忌惮的隐患之一。
姜蕴宁轻轻颔首,“对,第一步优先检查真空系统。确认泵体、阀门和缓冲电源有没有在断电时出现延迟。”
“还有光源系统,”周新民接话,“哪怕毫秒级波动,都可能导致光束能量分布不均。”
姜蕴宁盯着手中的资料图,声音不高却格外清晰:“好,从真空、光源、对准三个核心环节开始排查。按顺序进行,一步一步确认。”
几名工程师同时点头,开始翻阅记录,逐项核对工具与测试设备。
两个小时后,准备工作终于完成。
他们戴上手套、口罩,围在光刻机周围,小心翼翼地拆解机身。
偌大的洁净室内,工具在金属表面发出轻微的敲击声和摩擦声,显得格外清脆又紧张。
真空泵、光路系统、电源模块……每一个关键组件都被仔细检查。
姜蕴宁在旁仔细关注着每一步操作,手中记录着关键数据,时而皱眉,低声与正在操作的工程师确认发现的异常与测量结果。
空气里弥漫着电子设备微微的臭氧味,有些许的刺鼻。银白色的光线在光刻机的金属机身上反射出冷冽的光芒,映照在他们专注的面孔上。
接下来的整整一周,工程师们几乎住在洁净室里。洁净服、口罩、手套成为他们的日常三件套,洁净室就是他们的工作与生活空间。
因为担心任何操作延误或无人看守可能会带来无法预料的风险,尤其是涉及高真空、光源和对准等核心模块。所以,在光刻机排查关键故障的这段时间,团队成员除了轮流短暂离开去食堂或补充必需品,其余时间几乎全程守在机器旁,形影不离。
这就是传说中先进设备调试时的“守机文化”。
洁净室外的世界被隔绝,层流面板低声运转,维持着空气洁净。
每一块拆下的模块都被小心放入防静电托盘,每一组检测数据都被详细记录。
“检查密封和管路接口,确认没有泄漏。”姜蕴宁靠近,目光扫过真空泵体表面。
“明白。”孙卓越小心地旋开接口,另一名同事递过微型压力计,“读数稳定吗?”
“暂时还在安全范围,但比正常值略低。”姜蕴宁眉头微蹙,“动作小心些,别碰到旁边的传感器线束。”
“收到。”
这种高强度、封闭式的拆机与检测不仅考验着工程师的耐力,更考验着团队的协作和心理承受力。因为每一个微小的疏忽,都可能带来不可逆的损失。
工程师们轮流操作、互相确认,每一步都仔细复核、交叉确认,确保不出差错——也正因此,整体周期被进一步拉长,比姜蕴宁预计的时间还长了三天。
第十天,排查和修复完成后,“旭日2号”进行空载测试。
空载测试是指在不放入晶圆的情况下,运行光刻机的各个系统,以验证其功能和稳定性。通过这种方式,可以提前发现潜在异常,调整机械或电子参数,从而避免再次造成高价值晶圆的损失。
直到主面板上的绿色灯常亮,所有人提着的那股气终于散了。
有人捂着额头,小声低呼:“苍天啊,终于成了。”
姜蕴宁检查所有参数,确认一切正常之后,抬头对大家说:“明天休息一天。”
“别别别,再也不敢休息了。”张新然夸张地叫唤,“晚上睡一睡,明天继续干活,行不行?”
看向姜蕴宁的眼神充满了期望。
他现在听到“休息”两个字都害怕了。
这次放假五天,实际休息三天不到,然后被召唤回来狂补了十天高强度的班。连着十天没回宿舍,他都怀疑自己的宿舍得积灰了。
“对啊对啊,别休息了,今天早点下班,回宿舍收拾收拾就行,明天照常上班吧。”其他人也纷纷附和。
那些原本没被紧急召回的人,回来后也经历了整整一周的“生不如死”式高强度工作。
姜蕴宁看着强烈要求继续工作的团队,这一次没有铁腕地强制休息。
因为让“旭日2号”恢复正常只是第一步,接下来还需要进行改造,以应对极端断电情况,而这部分耗时,将比此前的拆机检测更久。